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这一章发布属于意外，把草稿发布出来了。内容进行了局部调整，但现在名字还改不了

本章的名字，应该是144章蓝光

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奉天，晚上，科仪食堂

刘民学厂长端着打好的饭菜，四处巡视。

科仪厂好久没有这么热闹的景象了。

前段时间厂里不景气的时候,别说晚餐了，就是午餐时段，都没有多少人，因为很多人都放假回家了。

松花江半导体的订单，由于产量和参数所限，单价并不高，但是数量比较大。

MEMS传感器由于结构各异，为了防止不断调整设备参数造成的质量波动，基本上每种传感器都需要设独立的生产线。

国内设备本来价格就不高，再加上定制开发费由国家专项补助报销，所以松花江半导体一口气，连定了七八条生产线。相对应的，就是相同或者类似的设备，一买就是七八个。

这批设备的集中交付，让科仪恢复了久违的兴旺景象。

刘民学满意的在食堂里转了一圈，在技术科科长王青山的桌子前停了下来。“你们那边的MOCVD，调试得如何了？”

“很顺利，非常顺利。”

“怎么个顺利法？你前几天不还说，MOCVD的参数很多，调试起来会非常困难吗？”

“是啊。我也觉得奇怪呢。陈泉一来，随便调了两下，GaN的生产情况就稳定了下来。所以，我们的调试工作基本结束。”

其实在陈泉来之前，王青山就已经组织人对设备进行过联调了,否则他也不敢发消息，请客户前来参加最后的调试。

双气流结构,看起来简单，但两个喷嘴之间的相互关系，每个喷嘴的风量，风速，角度等变量相当多，任何一个出问题，都会影响到最终结果。王青山自己调了两天，最后只能放弃。

“你的意思是，你们那台MOCVD已经调试完毕，可以交付了？”刘民学小小吃了一惊。“这么快？”

“对啊。”

“等一等，等一等。”刘民学想了想，干脆缓缓坐了下来。“我记得你一直说，采用陈泉的思路，生成的GaN最后会有晶体缺陷问题，实际根本没有办法使用，对吧。”

由于设备的原因，科仪厂对蓝光LED技术做了些相关研究。

蓝光LED采用的衬底材料不是IC中常见的硅晶圆，而是晶体结构和GaN接近，但晶格常数失配的蓝宝石。

由于晶格失配，GaN外延层和蓝宝石衬底之间存在失配应力，应力的释放会导致GaN内部产生大量缺陷。这样的材料是没有使用价值的。

“是，是我说的。但晶体缺陷问题，不是我发现的，它是蓝光LED道路上的一个公认难题。”

“我当然知道问题不是你发现的。”刘民学用手轻轻拍了下桌子。“可晶体缺陷，到底发生了没有？”

“晶体缺陷的问题，我们也遇到了。”王青山把两手一摊。“但问题被陈泉解决了。”

“解决了？怎么解决的？谁解决的？是修改设备了吗？我怎么没有收到修改通知书呢？”

刘民学感觉才两天没有关注，MOCVD项目组里居然发生了如此多的事情。

“陈泉没有修改设备，而是修改了工艺步骤。他用了两段的加热方式。先在较低的温度生成一层GaN。然后再把温度提高到正常的1000度。由于应力会在低温GaN层被释放掉，最后生成的高温GaN，晶体品质就没有问题了。”

“就这么简单？先用低温，再用高温？”

刘民学简直不能相信自己的耳朵。GaN晶格缺陷问题，名气非常大。但陈泉的方案，既没有增加设备，也没有增加成本。

“对